OHT天车与AMR搬运机器人协作应用
转载 2021-09-28 10:44 捷螺系统 来源:捷螺系统
晶圆厂是使用自动化材料处理系统(AMHS)的自动化工厂。广泛使用高架式芯片运输车(OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。
AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,作为工序区间搬送系统;而OHT+AMR 负责Intrabay,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。
要实现全厂OHT覆盖,AMHS系统的成本会非常高,(简单估算下来,一条8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在当前中国大陆的FAB厂中,使用OHT的FAB厂屈指可数。这也对厂内IE规划也是个极大的考验。
为此,捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。目前,Gyrobot已与多家OHT厂家(Muratec、Mirle等),实现FAB车间对接协作,为半导体工厂自动化生产提升更高效率。
OHT天车负责空中轨道高速传输作业,地面上由AMR来实现高弹性效率作业,实现由STOCKER、OHT、AMR、EQ间 无死角无盲区对接 ,真正实现FAB车间无人化自动生产。
相关资讯
更多- 全球顶尖专家团到访 YOGO,深度链接静安 “海聚英才” 平台,共探智能科技新未来
- 打通最后一公里!仙工智能携手张江租赁,具身智能叉车成首单交付标杆
- 天能氢电新品发布会定档!5月26日,辰星闪耀
- 诺力叉车・智搬未来|高铁加速度,湖人足球风 —— 品牌盛宴点亮杭州
- 工业车辆电控“大脑”登陆北交所 嘉晨智能开启国产替代新征程
- 林德物料搬运连续第三年荣获EcoVadis铂金奖
- 高光时刻 | 极智嘉五度斩获 RBR50 全球创新奖,具身智能迈向工业实战
- 全国首个!智元WITA(硅光动语)大模型完成备案,“部署态”征程再提速!
- 行深智能无人车高规格保障国家级外事接待!越共中央总书记现场点赞中国智造
- 重磅新品|劢微机器人推出全向托盘式无人叉车 OT10