史陶比尔AGV助力半导体行业创新突围
转载 2024-01-05 09:48 史陶比尔机器人 来源:史陶比尔机器人半导体制造涉及数百个步骤,从集成电路设计到晶圆制造、晶圆加工、封装和测试,需要各个环节的高度配合协作。
在这些环节中,洁净室环境至关重要,同时还需要高可靠性和效率来满足高产量要求。
为了满足半导体行业的严格需求,史陶比尔为其AGV 建立了专用的洁净室生产基地。
这些测试包括在产品生命周期内的释气性以及在AGV运行过程中可能引起的磨损,每个测试都会被详细记录,从而最大限度降低颗粒物的排放。
史陶比尔为两家知名半导体生产设备制造商定制洁净版AGV,用于洁净室内搬运重达24吨的光刻机设备部件。
引入AGV的目的在于限制设备与人员的接触,降低潜在污染源,并避免起重机掉落磨损碎片的风险。
在此过程中,史陶比尔AGV积累了大量经验,大到外壳材料,小到电缆护套必须经过退火或涂层覆盖的表面处理等工艺。
史陶比尔AGV最高有效负载可达450吨,产品融合了独特的全向驱动专利技术,可提供差速运动、全向运动两种不同移动方式,在狭小拐角独具优势。机身紧凑实用,采用可扩展的模块化设计,易于维护,可根据不同的应用场景及客户需求更改配置。
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