四种不同的 AMR,实现 200mm(8 英寸)晶圆厂自动化!
转载 2026-10-27 09:42 捷螺智能
存量 200mm(8 英寸)晶圆厂的自动化升级,一直是行业里的一大难题:产线布局定型、空间受限,大规模基建改造成本高、停机风险大。捷螺持续深耕半导体工厂自动化赛道,聚焦存量产线智能化改造需求,打造适配现有产线的柔性 AMHS 移动机器人方案,让老厂也能低成本迈向高阶自动化。
本次视频,一次性展示四款定位各异、功能互补的半导体专用 AMR,覆盖晶圆不同载具、不同设备对接场景:
🔹SMIF Pod 及 Wafer Box 搬运 AMR负责密闭晶圆载具的转运,适配 SMIF 生产流程,稳定完成晶圆盒在 Stocker、机台之间的输送流转,保障晶圆洁净环境。
🔹双机械臂 Open Cassette AMR搭载双机械臂结构,可自主完成 Open Cassette 晶圆载盒的取放作业,灵活适配开放式晶圆盒的上下料需求。
🔹4 槽位 Open Cassette AMR支持对接 Prober 测试设备,整套流程自主闭环:自动开启设备门、送入 Cassette、完成放置后自动关门,无需人工介入。
🔹4 槽位带封闭盒 AMR对接Stocker,从料仓取出 Cassette,自动输送到设备 Load Port,完成洁净载具的仓储到机台端的自动化配送。
四款 AMR 各司其职,又能协同组成柔性输送系统。我们的核心思路很清晰:尽可能不对现有工厂基础设施做大幅度改造,以柔性移动机器人为载体,渐进式导入自动化,帮助晶圆厂降低改造成本、缩短上线周期,稳步提升产线自动化率、减少人工重复作业。
半导体制造里大量重复、机械的搬运与上下料工作,交给机器来完成。
GYRO — Let machines handle mechanical tasks.
