洁净搬运机器人

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洁净搬运机器人(Clean Transfer Robot)

主要应用于平板显示及半导体生产线的玻璃基板或硅片的搬送。设备采用结构模块化设计，欣奕华在国内率先实现振动抑制，先进控制，洁净机构设计等技术的突破，使产品的洁净度控制、高速运动、定位精度、可搬运产品尺寸及重量等领域均达到了国际先进水平。