主要应用于平板显示行业TFT电子线路的断路/短路检测。设备采用非接触式检测原理对玻璃基板进行高速检测,在节省探针等消耗品的同时,大幅降低了对待检玻璃基板造成的划伤。可对应产品电子线路宽度达2微米,相邻电子线路最小间距达28微米,平均检出率高达99%以上,可应用于G8.5或更高世代产线的TFT基板。
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