高性能专用搬运机器人

　　用于半导体和电子行业

　　川崎提供了业界领先的全系列半导体和电子搬运机器人。这些机器人是专为在无尘室中应用而制造的，包括ISO 1级。速度、准确度以及伸展范围使这些机器人适合搬运精密的半导体晶圆、LCD面板、有机EL，以及太阳能电池板。

　　NT系列无尘机器人

　　用于半导体、有机EL、LCD面板、太阳能面板。长伸展距离水平手臂。

　　NT系列无尘机器人设计的目的是让一个机器人可以伸展开来管护多达四个FOUP而不必使用线性轴。NT系列采用下一代设计，以400晶片每小时（WPH）的速率来搬运300mm或450mm晶圆，而没有使用校准器。