Schmid称重传感器系列

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Multi Lane Loader、Metrology 和 Cell Diverter 的模块化结构使 Load Cell Line 能够最佳地适应吞吐量、车道数量和空间要求方面的要求。对于后续的电池工艺，晶圆要么从一个或两个进料通道转移到 10 个通道，要么从一个通道转移到五个通道。

根据更高的质量控制要求，可以选择性地扩展检测系统（孔和裂纹检测、表面测量、使用寿命和电阻测量）。