OS Tester

用于TFT LCD生产Array段检查基板电路断路/短路的高精度检测设备

使用先进的非接触技术，超过60台的业绩。

产品特点：

适用对象：TFT-LCD、TP、LTPS、OLED；

可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short；

即时在线检测；

模块化设计，标准化CIM通讯软件。

核心技术：

多轴高精度运动控制技术；

非接触式检测技术；

高精密一次全面检出技术；

高精度精密加工、组装、调试调试。

性能参数：

缺陷检出率可高达99%；

26轴高精度运动控制， 各轴的重复定位精度达到5微米；

单轴移动速度达到800mm/s；

检测传感器与玻璃之间的间隙在100微米以内；

可测试的电子线路最小宽度可达到2微米；

相邻电子线路之间的间距最小可以达到28微米；

可检测基板最薄0.4mm。