随着科学技术的发展，对金属与非金属硬脆性材料的市场需求日益增加,对其表面质量提出更严格要求。如何高效地获得超平滑无损伤表面的材料已经成为研究热点，双面研磨/抛光机正是进行脆性材料超精密表面加工的主要设备。目前国内对其结构研究分析以及抛光机理研究落后于发达国家,而博众研发的双面铜盘机和双面研磨机正好弥补了国内研磨机技术落后的劣势。

目前，平面研磨机分别以单面研磨和双面研磨两种方式存在，而双面研磨主要是指在以往传统研磨机的基础上，通过改变研磨来加以提高研磨精度和加工效率的一种研磨方式。博众研发的双面研磨机种类和型号丰富多样，可适用于各类不同材质、不同尺寸的工件高精密表面研磨抛光加工处理。

双面研磨机系列

设备介绍

双面研磨由研磨盘，游轮，电机，太阳轮，修面机等组成，主要用于金属与非金属硬脆性材料制作的薄片零件进行双面研磨、抛光。金属包括：阀板、阀片、摩擦片、钢性密封圈、气缸活塞环、等；非金属包括：硅、锗、石英晶体、玻璃、陶瓷、光学玻璃、蓝宝石、砷化碳、铌酸锂等。

设备系列

1双面研磨机-6S

2双面研磨机-9B（二电机）

3双面研磨机-9B（四电机）

4双面研磨机-13B-6（二电机）

5双面研磨机-13B-6（三电机）

6双面研磨机-15B-6（三电机）

7双面研磨机-15B-7（三电机）

8双面研磨机-16B-5

9双面研磨机-16B-8

10双面研磨机-18B-5

11双面研磨机-18B-9

设备亮点

~ 机架采用龙门架结构，承压能力强，能有效满足设备在高负载下持续高速稳定运转。

~ 上、下盘及太阳轮采用电机单独驱动形式，控制部分采用变频电机+变频调速器，确保设备在加、减速、停止及换向的稳定性。

~ 传动方式采用斜齿轮机构，有效预防产品易碎情形。

~ 保证设备下磨盘在运转过程中的精度与钢性，主轴采用高精度交叉滚子轴承，可承受轴向力与径向力，同时克服倾覆力矩。

~ 上盘在下降过程中设置了快降及缓降两程模式，气缸行程可调，在行程范围内及产品可接受范内，可调节行程达到最佳态。

~ 采用精密比例阀调整生产设备的压力，可按不同的产品加工工艺来设定工作压力。

~ 游星轮传动采用柱销结构，传动平稳无冲击，有效提高游星轮的使用次数；柱销齿采用销套结构，销套用不锈钢材料经热处理加硬，防锈耐磨，柱销齿磨损后只需更换销套，方便简单，成本低 。

双面铜盘机

设备介绍

双面铜盘机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨、抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

设备亮点

~ 上下盘采用通水冷却系统，加工时可控制在一定范围内，同时保证工作效率及产品质量。

~ 机架采用龙门式经构，钢性好，能满足在高负载下高速稳定运行。

~ 太阳轮运动部分由四个变频电机+变频调速器单独控制；运行速度可任意调节，实现加、减速、停止及换向平稳的运行，防止薄脆产品易碎。

~ 设备自带圆盘修复系统，通过伺服驱动修复系统在设备上自动对上下盘进行修复，从而保证整机精度。

~ 上盘在上、下运动时采用低摩擦气缸+SCBS自动补偿平衡系统，通过滚珠花键副，平稳地实现高精度压力控制。

~ 游星轮传动采用柱销齿结构，并采用伺服系统实现太阳轮和齿圈的同步升降，传动平稳无冲击，极大提高游星轮和柱销齿的使用寿命，大大降低机器的维护时间和成本。